Asosiy jarayonlar:
- Vakuumli magnetronli püskürtme (ultra{0}}yupqa / yupqa / o'rta{1}}qalin qatlamlar)
- Elektrokaplama ostidagi qatlam + Magnetron bilan purkash kompozit jarayoni (qalin qatlamlar)
Nikel qotishmasining maqsadli turlari:
NiCr, NiTi, NiCu, NiCrAl (umumiy parametrlar; ma'lum qotishma kompozitsiyalariga ko'ra kichik tuzatishlar kiritilishi mumkin)
Substrat materiallari:
Mis / Molibden / Titan / Grafit (odatda ishlatiladigan maqsadli substratlar)
Qoplama qalinligi va jarayonning xususiyatlari va ilovalari
| Qoplama qalinligi diapazoni | Jarayonning asosiy xususiyatlari | Odatdagi dastur muhitlari | Vakillik maqsadli turlari |
|---|---|---|---|
| Ultra yupqa qatlam (0,1–1 mkm) | Past püskürtme tezligi; quvvat va cho'kma vaqtini aniq nazorat qilishni talab qiladi; juda yuqori qalinlikdagi bir xillik | 1. Oksidlanish qarshiligini yaxshilash uchun yarimo'tkazgich chiplari maqsadlari uchun sirtni o'zgartirish qatlamlari; 2. Optik aks ettirishni kuchaytirish uchun optik qoplama maqsadlari uchun o'tish qatlamlari; 3. Yengil korroziyali muhitda qoʻllaniladigan aniq elektron nishonlar uchun-korroziyaga qarshi qoplamalar |
NiCr qotishma maqsadlari (yarim o'tkazgich); NiTi qotishma maqsadlari (optik ilovalar) |
| Yupqa qatlam (1–10 mkm) | Qoplamaning bir xilligi va narxini muvozanatlashtiradi; magnetronli püskürtme yoki elektrokaplama + püskürtme kompozit jarayonlari uchun javob beradi | 1. Maqsadli materialni tayanch plitalari (masalan, mis tayanch) bilan bog'lash uchun tekis magnetron nishonlari uchun biriktiruvchi qatlamlar; 2. Elektr o'tkazuvchanligini yaxshilash uchun fotovoltaik maqsadlar uchun funktsional qatlamlar; 3. O'rtacha yuk sharoitida an'anaviy vakuumli qoplama maqsadlari uchun himoya qatlamlari- |
NiCu qotishma maqsadlari (fotovoltaiklar); sof nikel nishonlari (biriktiruvchi qatlamlar) |
| Oʻrta{0}}qalin qatlam (10–30 mkm) | Haroratning haddan tashqari ko'tarilishiga yo'l qo'ymaslik uchun segmentlangan püskürtmeyi talab qiladi; Ichki stressni engillashtirish uchun-cho'kmalarni yumshatish tavsiya etiladi | 1. Yuqori quvvatli püskürtmeli ilovalarda xizmat muddatini uzaytirish uchun-aylanuvchi nishonlar uchun chidamli qatlamlarni taqing; 2. Nam yoki engil kislotali/ishqoriy muhitda korroziyaga chidamli{1}}bardoshli ob'ektlar uchun himoya qoplamalar; 3. Qoplama-substrat yopishishini kuchaytirish uchun termal buzadigan amallar uchun taglik qatlamlari |
NiCrAl qotishma maqsadlari (aşınma qarshilik); NiMo qotishma maqsadlari (korroziyaga chidamlilik) |
| Qalin qatlam (30–50 mkm) | Umumiy purkash vaqtini va narxini kamaytirish uchun elektrokaplama ostidagi qatlamni quyuqlashtirish bilan birlashtirilgan. | 1. Uzoq vaqt davomida uzluksiz püskürtme-da ishlatiladigan yuqori quvvatli sanoat qoplama maqsadlari uchun-yuk ko'taruvchi qatlamlar; 2. O'ta korroziy muhitda ishlaydigan nishonlar uchun himoya qatlamlari (masalan, dengiz ilovalari); 3. Katta oʻlchamli maqsadlar uchun-tekislikni tuzatish qatlamlari |
NiTi qotishma maqsadlari (sanoat qoplamasi); NiCr qotishma maqsadlari (ekstremal muhit) |
III. Tegishli jarayon va qoplama qalinligi uchun asosiy fikrlar
1. Qalinligi bir xilligini nazorat qilish
Butun maqsad yuzasi bo'ylab qoplama qalinligi ichida nazorat qilinishi kerak±5%. Haddan tashqari og'ish, püskürtme paytida notekis maqsadli eroziyaga olib kelishi mumkin, bu qoplama sifatiga salbiy ta'sir qiladi. Maqsadli -substratgacha{3}} masofani optimallashtirish va aylanadigan substratlardan foydalanish orqali bir xillikni yaxshilash mumkin.
2. Qoplama tarkibi va qalinligi o'rtasidagi bog'liqlik
- uchunultra-yupqa qatlamlar (< 1 μm), qotishma elementlarning ajratilishini oldini olish uchun bir-komponentli nikel qoplamalari afzallik beriladi.
- uchunthicker layers (> 10 μm), ko'p komponentli nikel qotishma qoplamalari aşınma yoki korroziyaga chidamlilik kabi funktsional talablarni qondirish uchun ishlatilishi mumkin.
3. Qo'llash muhitining qoplama qalinligiga ta'siri
- Yuqori -eskilik yoki yuqori-kuchli püskürtme ilovalari→ Oʻrtacha{0}}qalin yoki qalin qoplamalar (10–50 mkm)
- Nozik elektronika va optik ilovalar→ Ultra{0}}yupqa yoki yupqa qoplamalar (0,1–10 mkm)
- Ko'proq agressiv korroziy muhitlar→ Korroziyaga chidamli{0}}nikel qotishmalari (masalan, NiCr, NiMo) bilan birlashtirilgan qalinroq qoplamalar
